ტრადიციული Al2O3 და BeO სუბსტრატის მასალების ყოვლისმომცველ უპირატესობებთან ერთად, ალუმინის ნიტრიდის (AlN) კერამიკა, რომელსაც აქვს მაღალი თბოგამტარობა (მონოკრისტალის თეორიული თბოგამტარობაა 275 W/m▪k, პოლიკრისტალის თეორიული თბოგამტარობაა 70~210 W/m▪k), დაბალი დიელექტრიკული მუდმივი, თერმული გაფართოების კოეფიციენტი, რომელიც შეესაბამება ერთკრისტალურ სილიციუმს და კარგი ელექტროიზოლაციის თვისებები, წარმოადგენს იდეალურ მასალას მიკროელექტრონული ინდუსტრიის წრედების სუბსტრატებისა და შეფუთვისთვის. ის ასევე მნიშვნელოვანი მასალაა მაღალი ტემპერატურის სტრუქტურული კერამიკული კომპონენტებისთვის, კარგი მაღალტემპერატურული მექანიკური თვისებების, თერმული თვისებების და ქიმიური სტაბილურობის გამო.
AlN-ის თეორიული სიმკვრივეა 3.26 გ/სმ3, MOHS-ის სიმტკიცეა 7-8, ოთახის ტემპერატურის წინაღობა 1016Ωმ-ზე მეტია, ხოლო თერმული გაფართოების უნარი 3.5×10-6/℃ (ოთახის ტემპერატურა 200℃). სუფთა AlN კერამიკა უფერო და გამჭვირვალეა, მაგრამ მინარევების გამო შეიძლება იყოს სხვადასხვა ფერის, როგორიცაა ნაცრისფერი, მონაცრისფრო-თეთრი ან ღია ყვითელი.
მაღალი თბოგამტარობის გარდა, AlN კერამიკას ასევე აქვს შემდეგი უპირატესობები:
1. კარგი ელექტროიზოლაცია;
2. სილიციუმის მონოკრისტალის მსგავსი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი, რომელიც აღემატება ისეთ მასალებს, როგორიცაა Al2O3 და BeO;
3. მაღალი მექანიკური სიმტკიცე და მსგავსი მოხრის სიმტკიცე Al2O3 კერამიკის შემთხვევაში;
4. ზომიერი დიელექტრული მუდმივა და დიელექტრული დანაკარგი;
5. BeO-სთან შედარებით, AlN კერამიკის თბოგამტარობაზე ტემპერატურა ნაკლებად მოქმედებს, განსაკუთრებით 200℃-ზე ზემოთ;
6. მაღალი ტემპერატურისადმი მდგრადობა და კოროზიისადმი მდგრადობა;
7. არატოქსიკური;
8. გამოიყენება ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში, ქიმიური მეტალურგიის ინდუსტრიასა და სხვა სამრეწველო სფეროებში.
გამოქვეყნების დრო: 2023 წლის 14 ივლისი