ტრადიციული Al2O3 და BeO სუბსტრატის მასალების ყოვლისმომცველ უპირატესობებთან ერთად, ალუმინის ნიტრიდი (AlN) კერამიკა, რომელსაც აქვს მაღალი თბოგამტარობა (მონოკრისტალის თეორიული თბოგამტარობა არის 275 W/m▪k, პოლიკრისტალის თეორიული თბოგამტარობა 70-210 მვტ/მვტ. ), დაბალი დიელექტრიკული მუდმივი, თერმული გაფართოების კოეფიციენტი, რომელიც შეესაბამება ერთკრისტალურ სილიკონს და კარგი ელექტრული საიზოლაციო თვისებები, იდეალური მასალაა მიკროელექტრონული ინდუსტრიის მიკროელექტრონული ინდუსტრიის მიკროსქემის სუბსტრატებისა და შეფუთვისთვის.ის ასევე მნიშვნელოვანი მასალაა მაღალი ტემპერატურის სტრუქტურული კერამიკული კომპონენტებისთვის კარგი მაღალი ტემპერატურის მექანიკური თვისებების, თერმული თვისებებისა და ქიმიური სტაბილურობის გამო.
AlN-ის თეორიული სიმკვრივეა 3,26 გ/სმ3, MOHS სიმტკიცე 7-8, ოთახის ტემპერატურაზე წინაღობა 1016 Ωმ-ზე მეტია და თერმული გაფართოება 3,5×10-6/℃ (ოთახის ტემპერატურა 200℃).სუფთა AlN კერამიკა უფერო და გამჭვირვალეა, მაგრამ მინარევების გამო ისინი სხვადასხვა ფერისაა, როგორიცაა ნაცრისფერი, ნაცრისფერი თეთრი ან ღია ყვითელი.
მაღალი თბოგამტარობის გარდა, AlN კერამიკას აქვს შემდეგი უპირატესობები:
1. კარგი ელექტრო იზოლაცია;
2. მსგავსი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი სილიციუმის მონოკრისტალთან, რომელიც აღემატება მასალებს, როგორიცაა Al2O3 და BeO;
3. მაღალი მექანიკური გამძლეობა და მსგავსი მოქნილობის სიმტკიცე Al2O3 კერამიკით;
4. ზომიერი დიელექტრიკული მუდმივი და დიელექტრიკული დანაკარგი;
5. BeO-სთან შედარებით, AlN კერამიკის თბოგამტარობაზე ნაკლებად მოქმედებს ტემპერატურა, განსაკუთრებით 200℃ ზევით;
6. მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობა და კოროზიის წინააღმდეგობა;
7. არატოქსიკური;
8. გამოიყენება ნახევარგამტარული მრეწველობის, ქიმიური მეტალურგიის მრეწველობისა და სხვა სამრეწველო დარგებზე.
გამოქვეყნების დრო: ივლის-14-2023