ალუმინის PVD იზოლაციის რგოლი ფიზიკური ორთქლის დეპონირების სისტემებისთვის
St.Cera-ს PVD იზოლაციის რგოლი დამზადებულია 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდისგან (Al₂O₃) ფიზიკური ორთქლის დეპონირების (PVD) სისტემებში გამოსაყენებლად. რგოლი უზრუნველყოფს ელექტრულ იზოლაციას კამერის კომპონენტებს შორის, ხელს უშლის რკალის წარმოქმნას და უზრუნველყოფს სტაბილურ პლაზმურ მუშაობას. ძირითადი თვისებებია მაღალი დიელექტრიკული სიმტკიცე (15×10⁶ V/m), სპეციფიკური წინააღმდეგობა >10¹⁴ Ω·მმ²/მ და თერმული სტაბილურობა 1600°C-მდე. ჩვენი ზუსტი დამუშავების შესაძლებლობები აღწევს გარე დიამეტრებს 600 მმ-მდე, შიდა დიამეტრებს 0.2 მმ-მდე, სიბრტყეს 0.003 მმ-მდე და ზედაპირის დამუშავებას Ra0.1. რგოლის ნულოვანი ფორიანობა და ქიმიური ინერტულობა უზრუნველყოფს ხანგრძლივ საიმედოობას აგრესიული შესხურების გარემოში.
სპეციფიკაციები (99.8% ალუმინის საფუძველზე)₂O₃& St.Cera-ს წარმოების შესაძლებლობები):
| ქონება | ღირებულება |
| მასალა | 99.8% ალუმინის ოქსიდი (სპილოს ძვლისფერი) |
| სიმჭიდროვე | 3.93 გ/სმ³ |
| მოხრის სიმტკიცე | 361 მპა |
| ვიკერსის სიმტკიცე | 16 GPA |
| დიელექტრიკული სიმტკიცე | 15×10⁶ V/მ |
| სპეციფიკური წინააღმდეგობა | >10¹⁴ Ω·მმ²/მ |
| მაქსიმალური გარე დიამეტრი | 600 მმ |
| მინიმალური შიდა დიამეტრი | 0.2 მმ |
| მაქსიმალური სისქე | 100 მმ |
| სიბრტყე | 0.003 მმ |
| პარალელიზმი | 0.002 მმ |
| ზედაპირის დასრულება | Ra0.1 |
| მაქსიმალური სამუშაო ტემპერატურა | 1600°C |
აპლიკაციები:
- · სამიზნე საყრდენი ფირფიტის იზოლატორები PVD სისტემებში
- · კამერის გამტარი იზოლატორები
- · დამცავი რგოლის იზოლატორები გაფრქვევის სისტემებში
- · მაღალი ძაბვის იზოლაცია პლაზმურ კამერებში
წარმოების სიზუსტე:
კონცენტრაცია: 0.01 მმ, მომრგვალება: 0.002 მმ, სისწორე: 0.005 მმ, პერპენდიკულარულობა: 0.005 მმ, დამოწმებულია CMM-ის მიერ.
Aპოლიმერული იზოლატორების უპირატესობები:
- · უძლებს 1600°C-ს პოლიმერის <300°C ლიმიტის წინააღმდეგ
- · არ გამოყოფს აირებს – ინარჩუნებს ვაკუუმის მთლიანობას
- · ეწინააღმდეგება პლაზმურ ეროზიას და ქიმიურ შეტევას
პერსონალიზაცია:
ხელმისაწვდომია ინდივიდუალური განივკვეთები, მონტაჟის მახასიათებლები, საფეხურის პროფილები და კონცენტრული რგოლის მრავალი დიზაინი.
