ელექტროსტატიკური ძაბვისადმი მგრძნობიარე ვაფლების დამუშავებისთვის განკუთვნილი ESD-უსაფრთხო ალუმინის კერამიკული ნაწილები
St.Cera-ს ელექტროსტატიკური განმუხტვისთვის უსაფრთხო ალუმინის კერამიკული ნაწილები დამზადებულია 99.8% მაღალი სისუფთავის Al₂O₃-სგან, რომლის ზედაპირის წინაღობა 10⁶–10⁹ Ω/კვ.მ.-ია, რაც მიიღწევა საკუთრების მიერ შექმნილი დოპინგის ან საფარის პროცესის მეშვეობით. ეს ნაწილები ეფექტურად ანაწილებენ სტატიკურ მუხტს, რაც ხელს უშლის მგრძნობიარე ნახევარგამტარული ვაფლებისა და მოწყობილობების ელექტროსტატიკურ დაზიანებას. ძირითადი მასალა ინარჩუნებს მაღალ მოხრის სიმტკიცეს (361 მპა), სიმტკიცეს (16 გპა) და დიელექტრიკულ სიმტკიცეს (15×10⁶ ვ/მ). ელექტროსტატიკური განმუხტვისთვის უსაფრთხო კერამიკული ნაწილები მოიცავს ბოლო ეფექტორებს, ამწევ ქინძისთავებს, სახელმძღვანელო რელსებს და FAB ავტომატიზაციისთვის განკუთვნილ მორგებულ ფიქსატორებს.
სპეციფიკაციები(99.8% Al₂O₃-ზე დაფუძნებული ESD დამუშავებით):
| ქონება | ღირებულება |
| საბაზისო მასალა | 99.8% ალუმინი |
| ზედაპირის წინაღობა (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/კვ. |
| სიმჭიდროვე | 3.93 გ/სმ³ |
| მოხრის სიმტკიცე | 361 მპა |
| ვიკერსის სიმტკიცე | 16 GPA |
| იანგის მოდული | 380 GPa |
| თერმული გაფართოება (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| მაქსიმალური სამუშაო ტემპერატურა | 800°C |
| დიელექტრიკული სიმტკიცე (მოცულობითი) | 15×10⁶ V/მ |
შენიშვნა: ESD ზედაპირის წინაღობა არ არის მოცემული მოწოდებულ მასალის თვისებების ცხრილებში. ზემოთ მოცემული დიაპაზონი წარმოადგენს დისიპაციური კერამიკის ინდუსტრიულ სტანდარტს. ტესტის ანგარიშებისთვის, გთხოვთ, დაგვიკავშირდეთ.
აპლიკაციები:
● ელექტროსტატიკური დენთისადმი მდგრადი ბოლო ეფექტორები ვაფლის გადასატანად
● დამიწების ქინძისთავები და ელექტროსტატიკური ინდიკატორები FAB აღჭურვილობაში
● სტატიკურად მგრძნობიარე მოწყობილობების სატესტო სოკეტები
● სუფთა ოთახის ხელსაწყოები, სადაც სტატიკური კონტროლი კრიტიკულად მნიშვნელოვანია
წარმოება და ხარისხი:
სტანდარტული ალუმინის დამუშავება + ESD ზედაპირის დამუშავება → ზედაპირის წინაღობა იზომება ANSI/ESD STM11.11 სტანდარტის მიხედვით. თითოეული ნაწილი 100%-ით ტესტირებულია კონცენტრული რგოლისებრი ელექტროდით.
უპირატესობები:
● ხელს უშლის ელექტროსტატიკური დარტყმით გამოწვეულ მოსავლიანობის შემცირებას
● ინარჩუნებს კერამიკის მექანიკურ სიმტკიცეს და ქიმიურ წინააღმდეგობას
● სტატიკური განმუხტვის შედეგად ნაწილაკების წარმოქმნა არ ხდება
