მაღალი სისუფთავის ალუმინის კამერის ფოკუსირების რგოლი პლაზმური გრავირებისა და გულ-სისხლძარღვთა დაავადებების სისტემებისთვის

St.Cera-ს კამერული ფოკუსირების რგოლი წარმოადგენს კრიტიკული პროცესის ნაკრების კომპონენტს, რომელიც გამოიყენება პლაზმური გრავირების, CVD და PVD ნახევარგამტარული მოწყობილობებისთვის. დამზადებულია 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდისგან (Al₂O₃), რგოლი გარს აკრავს ვაფლის კიდეს პლაზმის შესაზღუდად და იონების კუთხური განაწილების ოპტიმიზაციისთვის, რითაც აუმჯობესებს გრავირების ერთგვაროვნებას ვაფლის ზედაპირზე. მასალა გთავაზობთ გამორჩეულ პლაზმურ წინააღმდეგობას, მაღალ დიელექტრიკულ სიმტკიცეს (15×10⁶ V/m) და თერმულ სტაბილურობას 1600°C-მდე, რაც უზრუნველყოფს ხანგრძლივ საიმედოობას აგრესიულ ფტორზე ან ქლორზე დაფუძნებულ პლაზმურ გარემოში. ზუსტი დამუშავების ID/OD და სიბრტყე (≤10 μm) საშუალებას იძლევა ვაფლის კიდის ზუსტი პოზიციონირება, კიდის დეფექტების და ნაწილაკების წარმოქმნის შემცირება.

სპეციფიკაციები(99.8% ალუმინის საფუძველზე)₂O₃):

აპლიკაციები:

• · დიელექტრიკული გრავირების კამერის ფოკუსირების რგოლები (ოქსიდის, ნიტრიდის გრავირება)
• · სილიკონის გრავირების კამერის კიდის რგოლები
• · გულ-სისხლძარღვთა სისტემის კამერის დამუშავების ნაკრების რგოლები
• · PVD კამერის ფარი და დამჭერი რგოლები

წარმოების პროცესი:

მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილი იზოსტატიკურად იპრესება → მწვანე დამუშავებით თითქმის ბადისებრ ფორმამდე → სინთეზირდება 1600°C-ზე → CNC ალმასის დაფქვა ID, OD და სისქის მიხედვით → დამუშავება ≤10 μm სიბრტყის მისაღწევად → ულტრაბგერითი გაწმენდა → 100%-იანი CMM შემოწმება. ზედაპირის საფარი Ra ≤0.4 μm მინიმუმამდე ამცირებს ნაწილაკების ადჰეზიას.

ხარისხის კონტროლი:

• · 100%-იანი განზომილებიანი შემოწმება (ID, OD, სისქე, პარალელიზმი)
• · საღებავის შეღწევადობის ტესტი მიკრობზარებზე (ბზარები არ არის დაშვებული)
• · ვიზუალური დათვალიერება 20× მიკროსკოპის ქვეშ - არ არის ნაკაწრები, სიცარიელეები ან ფერის შეცვლა
• · დიელექტრიკული სიმტკიცის ტესტი ASTM D149-ის მიხედვით (შერჩევა)

უპირატესობები სილიკონის ან კვარცის ფოკუს რგოლებთან შედარებით:

• · ფტორნახშირბადის პლაზმაში 5–10-ჯერ მეტი სიცოცხლის ხანგრძლივობა
• · არ არსებობს მოხმარებადი ეროზიის ნაწილაკები, რომლებიც აბინძურებენ ვაფლებს
• · მაღალი დიელექტრიკული სიმტკიცე ხელს უშლის რკალის წარმოქმნას
• · ინარჩუნებს სიბრტყეს და განზომილებიან სიზუსტეს ათასობით რადიოსიხშირული საათის განმავლობაში

ალტერნატიული მასალა — იტრიუმ-სტაბილიზებული ცირკონიუმი (ZrO₂):

მაღალი მსხვრევადი სიმტკიცის მოთხოვნით (მაგ., ხშირი თერმული ციკლის ან მექანიკური დარტყმის მქონე კამერები), ხელმისაწვდომია ZrO₂ ფოკუსირების რგოლები (სიმკვრივე 6.03 გ/სმ³, მოხრის სიმტკიცე 1000 მპა, მსხვრევადი სიმტკიცე 5–8 მპა·მ¹/²). თუმცა, ალუმინის ოქსიდი უკეთეს ეკონომიურობას გვთავაზობს და ფოკუსირების რგოლების უმეტესი გამოყენებისთვის ინდუსტრიის სტანდარტს წარმოადგენს.

პერსონალიზაცია:

• · საფეხურის პროფილები, საყრდენი ხვრელები ან სამონტაჟო ხვრელები მომხმარებლის ნახაზზე
• · Y₂O₃ საფარი პლაზმური ეროზიისადმი გაძლიერებული მდგრადობისთვის (სისქე 20–100 მკმ)
• · ნაწილის ნომრის, თარიღის კოდის ან გასწორების ნიშნების ლაზერული მარკირება

შენიშვნა:ყველა მონაცემი მკაცრად შეესაბამება მოწოდებულ Al₂O₃ თვისებების ცხრილს. ZrO₂-ის სპეციფიკაციებისთვის იხილეთ მოწოდებული ცირკონიუმის ტექნიკური მახასიათებლების ფურცელი. ფოკუსირების რგოლების დიზაინს შეიძლება დასჭირდეს პატენტის დამტკიცება — ინტელექტუალური საკუთრების უფლებების გადამოწმება მომხმარებლების პასუხისმგებლობაა.