მაღალი სისუფთავის ალუმინის კერამიკული რგოლი CVD / PVD პროცესის კამერებისთვის
St.Cera-ს კერამიკული რგოლი სპეციალურად შექმნილია CVD (ქიმიური ორთქლის დეპონირება) და PVD (ფიზიკური ორთქლის დეპონირება) დამუშავების კამერებში გამოსაყენებლად. დამზადებულია 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდისგან (Al₂O₃), ეს რგოლი ემსახურება როგორც კამერის ლაინერს, ფოკუსირების რგოლს ან დამუშავების ნაკრების კომპონენტს პლაზმის შესაკავებლად და კამერის კედლების ეროზიისგან დასაცავად. მასალა გთავაზობთ შესანიშნავ პლაზმურ წინააღმდეგობას, მაღალ დიელექტრიკულ სიმტკიცეს (15×10⁶ V/m) და თერმულ სტაბილურობას 1600°C-მდე, რაც უზრუნველყოფს ხანგრძლივ მომსახურებას აგრესიულ ფტორზე დაფუძნებულ პლაზმურ გარემოში. ზუსტი განზომილებიანი ტოლერანტობა (±0.05 მმ ID/OD-ზე) და სიბრტყე (≤10 μm) უზრუნველყოფს ვაფლის კიდის თანმიმდევრულ პოზიციონირებას, აუმჯობესებს დეპონირების ერთგვაროვნებას და ამცირებს ნაწილაკების წარმოქმნას.
სპეციფიკაციები (99.8% Al₂O₃-ზე დაყრდნობით):
| ქონება | ღირებულება |
| მასალა | 99.8% ალუმინის ოქსიდი (სპილოს ძვლისფერი) |
| სიმჭიდროვე | 3.93 გ/სმ³ |
| წყლის შთანთქმა | 0% |
| მოხრის სიმტკიცე | 361 მპა |
| მოტეხილობისადმი გამძლეობა | 3–4 მპა·მ¹/² |
| ვიკერსის სიმტკიცე | 16 GPA |
| იანგის მოდული | 380 GPa |
| თბოგამტარობა | 32 ვტ/მ² |
| თერმული გაფართოება (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| დიელექტრიკული სიმტკიცე | 15×10⁶ V/მ |
| სპეციფიკური წინააღმდეგობა | >10¹⁴ Ω·სმ |
| მაქსიმალური სამუშაო ტემპერატურა | 1600°C |
აპლიკაციები:
- · გულ-სისხლძარღვთა სისტემის კამერის ფოკუსირების რგოლები და კიდის რგოლები
- · PVD კამერის დამცავი რგოლები და დამჭერი რგოლები
- · ამოტვიფრული კამერის ლაინერები და საფარის რგოლები
- · პლაზმური შეკავების რგოლები დიელექტრიკული გრავირების სისტემებში
წარმოების პროცესი:
იზოსტატიკური დაპრესილი → მწვანე დამუშავება → სინთეზირება 1600°C-ზე → CNC ID/OD დაფქვა → ზედაპირის დამუშავება → ულტრაბგერითი გაწმენდა → 100%-იანი CMM შემოწმება. ულტრა გლუვი ზედაპირის დამუშავება (Ra ≤0.4 μm) ამცირებს ნაწილაკების ადჰეზიას.
ხარისხის კონტროლი:
- · 100%-იანი განზომილებიანი შემოწმება (ID, OD, სისქე, სიბრტყე)
- · საღებავის შეღწევადობის შემოწმება ზედაპირული მიკრობზარების აღმოსაჩენად
- · დიელექტრიკული სიმტკიცის ტესტი ASTM D149-ის მიხედვით
- · 20× მიკროსკოპის ქვეშ არ შეინიშნება შესამჩნევი ფერის შეცვლა ან ფორიანობა
უპირატესობები ლითონის ან კვარცის რგოლებთან შედარებით:
- · ფტორის პლაზმაში ალუმინის რგოლებთან შედარებით 5–10-ჯერ მეტი სიცოცხლის ხანგრძლივობა
- · თხელ ფენებში ლითონის დაბინძურება არ არის
- · კვარცთან შედარებით უფრო მაღალი პლაზმური წინააღმდეგობა (ეროზიული ორმოების გარეშე)
- · ინარჩუნებს ელექტრო იზოლაციას >10¹⁴ Ω·სმ-ზე ხანგრძლივი გამოყენების შემდეგაც კი
ალტერნატიული მასალა — სილიციუმის ნიტრიდი (Si₃N₄):
კიდევ უფრო მაღალი მსხვრევისადმი სიმტკიცის (6.2 MPa·m¹/²) და უკეთესი თერმული დარტყმისადმი მდგრადობის (გაფართოების კოეფიციენტი 3.2×10⁻⁶/℃) საჭიროების შემთხვევაში, ხელმისაწვდომია Si₃N₄ რგოლები. თუმცა, CVD/PVD აპლიკაციების უმეტესობისთვის, ალუმინის ოქსიდი უფრო ეკონომიურია. შეკვეთისას, გთხოვთ, მიუთითოთ მასალის უპირატესობა.
პერსონალიზაცია:
- · მონტაჟისთვის განკუთვნილი გამჭოლი ხვრელები, საფეხურებიანი პროფილები ან კონტრბურები
- · Y₂O₃-ით დაფარული ზედაპირი გაძლიერებული პლაზმური წინააღმდეგობისთვის (არასავალდებულო)
- · ნაწილის ნომრის / პარტიის კოდის ლაზერული გრავირება
შენიშვნა:ზემოთ მოცემული მონაცემები მკაცრად შეესაბამება მოწოდებულ Al₂O₃ თვისებების ცხრილს. Si₃N₄ რგოლებისთვის იხილეთ მოწოდებული ცალკე Si₃N₄ მონაცემთა ფურცელი.
