12-დიუმიანი ალუმინის ვაკუუმური ჩაკი 300 მმ ვაფლის დამუშავებისთვის

St.Cera-ს 12 დიუმიანი ვაკუუმური ჩაქუჩი 300 მმ ვაფლის დასამუშავებლად 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდისგან (Al₂O₃) ზუსტი ინჟინერიით არის დამზადებული. ჩაქუჩს აქვს წვრილღარებიანი ზედაპირი (ღარის სიგანე 0.5–1.0 მმ, დახრილობა 2–3 მმ), რათა უზრუნველყოფილი იყოს ვაკუუმის ერთგვაროვანი განაწილება მთელ 300 მმ დიამეტრზე. სიბრტყე შენარჩუნებულია 5 μm-ის ფარგლებში, რაც საშუალებას იძლევა ვაფლის დაფიქსირება დეფორმაციის გარეშე დაჭრის, უკანა მხრიდან დაფქვისა და შემოწმების დროს. მასალის მაღალი მოღუნვის სიმტკიცე (361 მპა) და სიმტკიცე (16 გპა) გარანტიას იძლევა ხანგრძლივ განზომილებიან სტაბილურობაზე, განმეორებითი ვაკუუმური ციკლების დროსაც კი.

სპეციფიკაციები (99.8% Al₂O₃-ზე დაყრდნობით):

აპლიკაციები:

 300 მმ ვაფლის დაჭრა და გრავირება
 ვაფლის უკანა მხარის დაფქვა (თხელი ვაფლის საყრდენი)
 ოპტიკური შემოწმება და ზონდაცია
 დროებითი შეერთების/მოხსნის საკინძები

წარმოება:

CNC დაფქული და დამუშავებული საბოლოო სიბრტყემდე, ღარებით დამუშავებული ალმასის ბორბლებით, ულტრაბგერითი გაწმენდილი და შეფუთული 100 კლასის სუფთა ოთახში. თითოეული ჩამკეტი 100%-ით შემოწმებულია სიბრტყეზე (ლაზერული ინტერფერომეტრი) და ღარის სიღრმეზე (პროფილომეტრი).

უპირატესობები:

 ნაწილაკების დაბალი წარმოქმნა (≤0.05 ნაწილაკი/სმ²)

 ქიმიურად ინერტულია გამხსნელებისა და მჟავების მიმართ

 ელექტროსტატიკური დენის მიმართ უსაფრთხო ზედაპირი (წინდაღმავლობა >10¹³ Ω·სმ)

ხელმისაწვდომია ვაკუუმის ხვრელების ინდივიდუალური ნიმუშები და უკანა მხარის პორტები.