კერამიკული საყრდენი ქინძისთავი ნახევარგამტარული ტექნოლოგიური მოწყობილობებისთვის
St.Cera-ს კერამიკული საყრდენი ქინძისთავები (ასევე ცნობილი როგორც ამწევი ან საყრდენი ქინძისთავები) გამოიყენება ნახევარგამტარული დამუშავების კამერებში ვაფლების ან სუბსტრატების ასაწევად დამუშავების, გათბობის ან გაგრილების დროს. 99.8% ალუმინის ოქსიდის ან სილიციუმის ნიტრიდისგან დამზადებული ეს ქინძისთავები უზრუნველყოფს მაღალ შეკუმშვის სიმტკიცეს, თერმულ სტაბილურობას და ქიმიურ წინააღმდეგობას. ნახევარსფეროსებრი ან ბრტყელი წვერის დიზაინი ხელს უშლის ვაფლის ნაკაწრებს.
სპეციფიკაციები(ალუმინის ოქსიდი 99.8%):
| ქონება | ღირებულება |
| მასალა | 99.8% Al₂O₃ ან Si₃N₄ |
| სიგრძე | 10 – 100 მმ |
| დიამეტრი | 1 – 10 მმ |
| წვერის ფორმა | ბრტყელი, ნახევარსფეროსებრი, წვეტიანი |
| შეკუმშვის სიმტკიცე (Al₂O₃) | >2000 მპა |
| მაქსიმალური სამუშაო ტემპერატურა (Al₂O₃) | 1600°C |
| ზედაპირის დასრულება | ლაპირებული (Ra ≤0.4 μm) |
| დიამეტრის ტოლერანტობა | ±0.01 მმ |
აპლიკაციები:
ამწევი ქინძისთავები CVD/PVD კამერებში
საყრდენი ქინძისთავები ცხელი ფირფიტის ცხობისთვის
ზონდის ბარათის საყრდენი სტრუქტურები
კვარცის ღუმელის ნავის საყრდენები
წარმოება:
გარე დიამეტრის ზუსტი უცენტრო დაფქვა → წვერის პროფილის ალმასისებრი დაფქვა → ულტრაბგერითი გაწმენდა → 100%-იანი განზომილებიანი შემოწმება.
ხარისხის კონტროლი:
სიგრძის/დიამეტრის CMM, წვერის რადიუსის ოპტიკური შედარების მოწყობილობა, დატვირთვის ტესტირება შეკუმშვის სიმტკიცის დასადასტურებლად (შემთხვევითი ნიმუში თითოეული პარტიისთვის). ფერომაგნიტური დაბინძურების არარსებობა (დადასტურებულია მაგნიტით).
უპირატესობები ლითონის ან კვარცის ქინძისთავებთან შედარებით:
5-ჯერ მეტი სიცოცხლის ხანგრძლივობა, ვიდრე უჟანგავი ფოლადი
ლითონის დაბინძურება არ არის პროცესის კამერაში
კვარცთან შედარებით უფრო მაღალი ტემპერატურისადმი გამძლეობა (1600°C 1100°C-ის წინააღმდეგ)
არაწებოვანი ზედაპირი (ნაწილაკების შემცირებული ადჰეზია)
პერსონალიზაცია:
მრავალი წვერის პროფილები, ხრახნიანი ფუძე ან კონუსური ლილვი.
ჩვენ ასევე ვაწვდით SiC ქინძისთავებს ექსტრემალური პლაზმური გარემოსთვის.
