სილიციუმის კარბიდის (SiC) კერამიკული ბოლო ეფექტორი - მაღალი სიმტკიცე მაღალტემპერატურულ ვაფლებთან მუშაობისთვის
St.Cera-ს SiC კერამიკული ბოლო ეფექტორი დამზადებულია მაღალი სისუფთავის სილიციუმის კარბიდისგან (SiC შემცველობა 99.72%, თავისუფალი Si 0.05%), S1111 პარტიის მასალის გამოყენებით. ის გამოირჩევა განსაკუთრებული მექანიკური თვისებებით: მოხრის სიმტკიცე 449 მპა (გაზომილი), ელასტიურობის მოდული 457 გპა (გაზომილი) და ვიკერსის სიმტკიცე 25–28 გპა (ტიპიური). დაბალი სიმკვრივე (3.10–3.15 გ/სმ³, ტიპიური) უზრუნველყოფს მაღალ სპეციფიკურ სიმტკიცეს, რაც იდეალურია მაღალსიჩქარიანი ვაფლის გადამცემი რობოტებისთვის. 120–150 W/m·K (ტიპიური) თბოგამტარობით და 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ თერმული გაფართოების კოეფიციენტით (ტიპიური), ეს ბოლო ეფექტორი ეფექტურად აფრქვევს სითბოს და ინარჩუნებს განზომილებიან სტაბილურობას მაღალ ტემპერატურაზე დამუშავების დროს (1600–1700°C-მდე, დატვირთვის გარეშე). შავი/ნაცრისფერი ფერი და წყლის ნულოვანი შთანთქმა უზრუნველყოფს თავსებადობას სუფთა ოთახთან.
სპეციფიკაციები(მოწოდებული SiC S1111 ტესტის ანგარიშისა და ტიპიური მნიშვნელობების საფუძველზე)):
| ქონება | ღირებულება |
| მასალა | SiC (99.72% SiC, 0.05% თავისუფალი Si) |
| ფერი | შავი/ნაცრისფერი |
| სიმჭიდროვე | 3.10–3.15 გ/სმ³ |
| წყლის შთანთქმა | 0% |
| მოხრის სიმტკიცე | 449 მპა (საშუალო) |
| მოტეხილობისადმი გამძლეობა | 3.12 მპა·მ¹/² (საშუალო) |
| ელასტიურობის მოდული | 457 GPA |
| ვიკერსის სიმტკიცე | 25–28 GPA |
| თბოგამტარობა (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| მაქსიმალური გამოყენების ტემპერატურა (დატვირთვის გარეშე) | 1600–1700°C |
აპლიკაციები:
● მაღალტემპერატურული ვაფლის დამუშავება (გახურების შემდგომი, RTP, ეპიტაქსია)
● პლაზმური გრავირების კამერები, რომლებიც მოითხოვენ ეროზიის მაღალ წინააღმდეგობას
● მაღალსიჩქარიანი გადამცემი რობოტები (მსუბუქი წონა, მაღალი სიმყარე)
წარმოება:
SiC ფხვნილის შედუღება → მკლავის პროფილის ზუსტი CNC დაფქვა და სამონტაჟო მახასიათებლები → ზედაპირის დამუშავება → ულტრაბგერითი გაწმენდა. 100%-იანი განზომილებიანი შემოწმება და ჰელიუმის გაჟონვის ტესტი ვაკუუმური გამოყენებისთვის.
ხარისხის კონტროლი:
● სიგრძის, სიგანისა და სიბრტყის CMM შემოწმება
● მოღუნვის სიმტკიცის ტესტი თითო პარტიაზე (ტესტის ანგარიშის სტანდარტის მიხედვით)
● მიკროსკოპით ვიზუალური დათვალიერება ზედაპირული დეფექტების გამოსავლენად
უპირატესობები ალუმინთან ან ლითონთან შედარებით:
● 2-ჯერ უფრო მაღალი ელასტიურობის მოდული (457 ალუმინის ოქსიდის ~380 გპა-ს წინააღმდეგ) – ნაკლები გადახრა
● 3-ჯერ მეტი თბოგამტარობა – უფრო სწრაფი სითბოს გაფრქვევა
● ჰაერში უძლებს >1600°C-ს ალუმინის 800°C-თან შედარებით
● ფოლადთან შედარებით დაბალი სიმკვრივე - წონის 40%-ით შემცირება
პერსონალიზაცია:
სიგრძეები 150–450 მმ, წვერის ფორმები (კიდის სამაგრი, ბერნულის, ბრტყელი), ფლანგის სამონტაჟო ნიმუშები OEM ნახაზის მიხედვით.
*ზემოთ მოცემული ყველა მექანიკური მონაცემი აღებულია მოწოდებული ტესტის ანგარიშიდან (პარტია S1111). თერმული და სიმტკიცის მაჩვენებლები ტიპიურია ამ SiC კლასისთვის; გთხოვთ, დაგვიკავშირდეთ პარტიის სპეციფიკური სერტიფიცირებისთვის.*
