-
ალუმინის მაღალი სიზუსტის კერამიკული რგოლის კერამიკული ნაწილები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
ST.CERA-ს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის კერამიკული ჩამკეტები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
სილიციუმის კარბიდის (SiC) კერამიკული ბოლო ეფექტორი - მაღალი სიმტკიცე მაღალტემპერატურულ ვაფლებთან მუშაობისთვის
St.Cera-ს SiC კერამიკული ბოლო ეფექტორი დამზადებულია მაღალი სისუფთავის სილიციუმის კარბიდისგან (SiC შემცველობა 99.72%, თავისუფალი Si 0.05%), S1111 პარტიის მასალის გამოყენებით. ის გამოირჩევა განსაკუთრებული მექანიკური თვისებებით: მოხრის სიმტკიცე 449 მპა (გაზომილი), ელასტიურობის მოდული 457 გპა (გაზომილი) და ვიკერსის სიმტკიცე 25–28 გპა (ტიპიური). დაბალი სიმკვრივე (3.10–3.15 გ/სმ³, ტიპიური) უზრუნველყოფს მაღალ სპეციფიკურ სიმტკიცეს, რაც იდეალურია მაღალსიჩქარიანი ვაფლის გადამცემი რობოტებისთვის. 120–150 W/m·K (ტიპიური) თბოგამტარობით და 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ თერმული გაფართოების კოეფიციენტით (ტიპიური), ეს ბოლო ეფექტორი ეფექტურად აფრქვევს სითბოს და ინარჩუნებს განზომილებიან სტაბილურობას მაღალ ტემპერატურაზე დამუშავების დროს (1600–1700°C-მდე, დატვირთვის გარეშე). შავი/ნაცრისფერი ფერი და წყლის ნულოვანი შთანთქმა უზრუნველყოფს თავსებადობას სუფთა ოთახთან.
-
სილიციუმის კარბიდის (SiC) ბაზაზე დამზადებული ვაკუუმური ჩაქუჩი მაღალი ტემპერატურისა და პლაზმური გარემოსთვის
St.Cera-ს SiC-ზე დაფუძნებული კერამიკული ჩამკეტი დამზადებულია მაღალი სისუფთავის სილიციუმის კარბიდისგან (პარტია S1111, SiC 99.72%, თავისუფალი Si 0.05%). იგი უზრუნველყოფს 449 მპა-ს გაზომილ მოღუნვის სიმტკიცეს, 3.12 მპა·მ¹/²-ს მსხვრევისადმი სიმტკიცეს და 457 გპა-ს ელასტიურობის მოდულს. მასალის ტიპიური თბოგამტარობა (120–150 W/m·K) და დაბალი თერმული გაფართოება (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) უზრუნველყოფს ტემპერატურის სწრაფ მატებას და ვაფლის მინიმალურ დეფორმაციას თერმული ციკლის დროს. ჩამკეტის კონფიგურაცია შესაძლებელია როგორც ფოროვანი ვაკუუმური ჩამკეტის (ერთგვაროვანი გაზის ნაკადი) ან ღარიანი სტანდარტული ჩამკეტის სახით. მაქსიმალური გამოყენების ტემპერატურა 1600–1700°C (დატვირთვის გარეშე) და პლაზმური ეროზიისადმი განსაკუთრებული წინააღმდეგობით, ეს ჩამკეტი იდეალურია მაღალტემპერატურული ვაფლის დამუშავებისთვის (გახურება, RTP) და აგრესიული გრავირების კამერებისთვის, სადაც ალუმინის ჩამკეტები დეგრადირდება.
-
ნახევარგამტარული აღჭურვილობა კერამიკული სათადარიგო ნაწილები კერამიკული მატარებლები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
ლითონის საყრდენი ალუმინის კერამიკული სახეხი რგოლი მაღალი სიხისტის დამუშავების აპლიკაციებისთვის
St.Cera-ს ლითონის ბაზაზე დამზადებული ალუმინის რგოლი აერთიანებს მაღალი სისუფთავის ალუმინის (99.8% Al₂O₃) კერამიკულ ცვეთის ფენას ზუსტად დამუშავებულ ლითონის საყრდენთან (როგორც წესი, ალუმინი ან უჟანგავი ფოლადი). ეს ჰიბრიდული დიზაინი უზრუნველყოფს კერამიკის განსაკუთრებულ ცვეთისადმი მდგრადობას და ქიმიურ ინერტულობას სახეხ ზედაპირზე, ხოლო ლითონის ფუძე ზრდის მექანიკურ სიმტკიცეს, მარტივ მონტაჟს და მყიფე მოტეხილობისადმი მდგრადობას. ალუმინის ფენა გთავაზობთ 361 მპა მოხრის სიმტკიცეს, 16 გპა ვიკერსის სიმტკიცეს და 800°C-მდე თერმულ სტაბილურობას. ლითონის ფუძე მორგებულია სამონტაჟო ხვრელებით, განმსაზღვრელი ქინძისთავებით ან მაგნიტური თვისებებით, რათა ინტეგრირდეს სალეს მანქანებში, პლანეტარულ საფქვავებში და CMP აღჭურვილობაში.
-
ნახევარგამტარული ზონდის სადგურის აღჭურვილობის კერამიკული სათადარიგო ნაწილები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
Al2O3 კერამიკული ვაფლის ჩაკის მორგებული დამუშავება
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
ST.CERA-ს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის კერამიკული ფირფიტა
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
12-დიუმიანი ალუმინის ვაკუუმური ჩაკი 300 მმ ვაფლის დამუშავებისთვის
St.Cera-ს 12 დიუმიანი ვაკუუმური ჩაქუჩი 300 მმ ვაფლის დასამუშავებლად 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდისგან (Al₂O₃) ზუსტი ინჟინერიით არის დამზადებული. ჩაქუჩს აქვს წვრილღარებიანი ზედაპირი (ღარის სიგანე 0.5–1.0 მმ, დახრილობა 2–3 მმ), რათა უზრუნველყოფილი იყოს ვაკუუმის ერთგვაროვანი განაწილება მთელ 300 მმ დიამეტრზე. სიბრტყე შენარჩუნებულია 5 μm-ის ფარგლებში, რაც საშუალებას იძლევა ვაფლის დაფიქსირება დეფორმაციის გარეშე დაჭრის, უკანა მხრიდან დაფქვისა და შემოწმების დროს. მასალის მაღალი მოღუნვის სიმტკიცე (361 მპა) და სიმტკიცე (16 გპა) გარანტიას იძლევა ხანგრძლივ განზომილებიან სტაბილურობაზე, განმეორებითი ვაკუუმური ციკლების დროსაც კი.
-
ალუმინის კერამიკული ბოლო ეფექტორი ინტეგრირებული ვაკუუმური არხებით
St.Cera-ს ალუმინის ვაკუუმის ბოლო ეფექტორი ზუსტად დამუშავებულ ვაკუუმურ არხებსა და შემწოვ ხვრელებს პირდაპირ 99.8%-ით მაღალი სისუფთავის ალუმინის კორპუსში აერთიანებს. ეს დიზაინი გამორიცხავს გარე ვაკუუმურ ბალიშებს, რაც უზრუნველყოფს ვაფლის პირდაპირ აღებას ერთგვაროვანი დაჭერის ძალით. მასალის მაღალი მოხრის სიმტკიცე (361 მპა) და სიმტკიცე (16 გპა) უზრუნველყოფს ხანგრძლივ განზომილებიან სტაბილურობას განმეორებითი ვაკუუმური ციკლების დროს. ბალიშის ფართობზე სიბრტყე შენარჩუნებულია 10 μm-ის ფარგლებში, რაც ხელს უშლის ვაფლის დაძაბულობას და მსხვრევას. ვაკუუმის პორტები განლაგებულია უკანა სამონტაჟო ფლანგზე, რათა მარტივი ინტეგრაცია მოხდეს OEM რობოტის მკლავებთან.
-
ელექტროსტატიკური ძაბვისადმი მგრძნობიარე ვაფლების დამუშავებისთვის განკუთვნილი ESD-უსაფრთხო ალუმინის კერამიკული ნაწილები
St.Cera-ს ელექტროსტატიკური განმუხტვისთვის უსაფრთხო ალუმინის კერამიკული ნაწილები დამზადებულია 99.8% მაღალი სისუფთავის Al₂O₃-სგან, რომლის ზედაპირის წინაღობა 10⁶–10⁹ Ω/კვ.მ.-ია, რაც მიიღწევა საკუთრების მიერ შექმნილი დოპინგის ან საფარის პროცესის მეშვეობით. ეს ნაწილები ეფექტურად ანაწილებენ სტატიკურ მუხტს, რაც ხელს უშლის მგრძნობიარე ნახევარგამტარული ვაფლებისა და მოწყობილობების ელექტროსტატიკურ დაზიანებას. ძირითადი მასალა ინარჩუნებს მაღალ მოხრის სიმტკიცეს (361 მპა), სიმტკიცეს (16 გპა) და დიელექტრიკულ სიმტკიცეს (15×10⁶ ვ/მ). ელექტროსტატიკური განმუხტვისთვის უსაფრთხო კერამიკული ნაწილები მოიცავს ბოლო ეფექტორებს, ამწევ ქინძისთავებს, სახელმძღვანელო რელსებს და FAB ავტომატიზაციისთვის განკუთვნილ მორგებულ ფიქსატორებს.
